用于多晶硅生产中的金属粉末烧结滤芯过滤器

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  本实用新型供给一种用于多晶硅生产中的金属粉末烧结滤芯过滤器，该过滤器包含过滤器壳体、进料管和出料管以及反吹气储气罐，在所述过滤器壳体内设置有金属粉末烧结滤芯，以将所述壳体内的空间分隔为进料空间和出料空间，所述进料管连通到所述进料空间，所述出料管连通到所述出料空间。所述反吹气储气罐经过反吹管连接到所述出料空间。该过滤器可以很好的满意多晶硅生产中的各种工况要求和工艺处理要求、运转安稳、操作保护简略。